A pásztázó akusztikus mikroszkóp által jelzett pszeudó hibák okainak feltárása

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Hurtony Tamás József
Elektronikai Technológia Tanszék

Az akusztikus mikroszkóp roncsolás mentes vizsgálatot tesz lehetővé, segítségével felderíthetők a belső hibák, például delaminációk, repedések, zárványok. Feladatom volt megismerni az akusztikus mikroszkópia elméleti alapjait, az akusztikus mikroszkóp működését. Megtanultam kezelni a tanszéki akusztikus mikroszkópot, és kitapasztaltam, hogy milyen beállításokkal készíthetek jó minőségű képet az adott mintáról.

A méréseimhez speciálisan kialakított belső réteghatárral rendelkező próbatesteket készítettem, így betekintést nyertem a minta előkészítési folyamatok során felhasznált eszköztárba. A próbatesteken vizsgált felületi érdesség meghatározásához a szakirodalomban jártam utána, az érdességet jellemző mérőszámoknak és viszonyítási rendszereknek. A referenciát jelentő méréseket az érdességi vizsgálatokra specifikus letapogató műszerrel végeztem.

Az SAM-mal végzett méréseim során számos tapasztalatot szereztem a beállítható paraméterekről, és megismertem a képalkotást és a hibakép felismerést befolyásoló tényezőket. A mérések során C-módú szkennelést alkalmaztam az 50 és a 70 MHz-es jelátalakító fejeket használva. A készített képek kiértékelését, a felületi egyenetlenségekből adódó hanghullám szóródására alapoztam. A jelenség miatt az érdesebb felületekről, kisebb intenzitású hang érkezik a jelátalakítóhoz. A delaminációk detektálására használt fáziskapu működését átfogóan vizsgáltam, amely program gyakran pszeudó hibát jelez, ezt a méréseim is igazolták. Az ilyen hibák elkülönítéséhez, elengedhetetlen a vizsgált eszköz belső struktúrájának ismerete és a C-módú szkennelés mellett az A-módban kapott visszhang jel analízise. A dolgozatomban kísérletet tettem a pszeudó hibák detektálásnak megértésére és magyarázatára.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.