Arany vékonyréteg elektródok lézeres mintázat kialakításának optimalizálása

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Sántha Hunor
Elektronikai Technológia Tanszék

Kivonat

Az Elektronikai Technológia Tanszék Érzékelők és Mikrofluidika Laboratóriumában a bioérzékelők alkalmazott kutatás-fejlesztése során a bioreceptor rétegeket arany vékonyrétegből kialakított elektródok felületére immobilizálják, a célmolekulák bekötődését elektrokémiai módszerekkel vizsgálják.

Ezen eljárások felületi áramsűrűségek precíz mérésén alapulnak, ezért különösen fontos, hogy a kialakított elektródák reprodukálható geometriai területtel, jó minőségben és lehetőleg minél kisebb méretben készüljenek el. A szakdolgozatom során feladatom a tanszéki Nd-YAG lézer berendezésnek a vékonyrétegek abláción alapuló mintázatkialakítását befolyásoló paramétereinek (pl. pumpáló áram, frekvencia, lézer nyaláb mozgatási sebesség) optimalizálása volt. Céljaim elérése érdekében továbbá káros hatások (pl. nyaláb kiszélesedés, vízszint problémája) által okozott hibákat derítettem fel és küszöböltem ki.

Feladatom megoldásához méréssorozatokat terveztem, melyek elvégzésével sikerült a paraméterek optimalizálása, így jobb felbontású és reprodukálhatóbb geometriai területű elektródot sikerült előállítanom, mint az eddig használtak. Az interdigitális jellegű elektróda optimális csíkszélessége 42 µm-nek adódott, 3 µm szórással.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.