Arany vékonyrétegek hőkezelésének vizsgálata atomerő mikroszkópiával

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Bonyár Attila
Elektronikai Technológia Tanszék

Munkám célja az elektrokémiai elvű bioérzékelőkben használatos arany vékonyréteg hőkezelése során tapasztalt felületi változások vizsgálata atomerő mikroszkópiával. Célkitűzésem pusztán hőkezeléssel számottevő nagyságú parcellákban közel atomi simaságú felületet létrehozni, amely felületen később lehetségessé válna előzetesen a felületre rögzített, pár nanométeres biomolekulák (pl. DNS molekulák) atomerő mikroszkópiás vizsgálata.

A célom elérése érdekében sorra vettem a szakirodalomból megismert hőkezelési stratégiákat, majd ezeket a tanszéki infrastruktúra és lehetőségek figyelembevételével ismételtem meg következtetéseket levonva. Atomerő mikroszkópiával vizsgáltam az eltérő paraméterekkel (pl. hőmérséklet, hőkezelési idő, atmoszféra) történő hőkezelések hatását az eltérő tulajdonságokkal rendelkező minták felületi szerkezetére.

Megállapításokat tettem a számottevő felületi változások számára kritikus fontosságú tényezők, így az inert atmoszféra (nitrogén) és megfelelő kiindulási szemcseszerkezet szükségességére a közel atomi simaságú parcellák létrehozása érdekében. Nitrogén atmoszférában, 5 perc hosszúságú, 360 °C hőmérsékletű hőkezeléssel sikerült a felületen közel 1 µm átmérőjű parcellákat létrehoznom, melyeken a felületi érdesség átlagosan mindössze 1,1 nm volt, vizsgálataim során ez mutatkozott a legpozitívabb irányú felületmódosulásnak.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.