Demonstrációs eszköz fejlesztése CMOS technológiai folyamat vizsgálatához

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Juhász László
Elektronikus Eszközök Tanszéke

A technológia fejlődésével egyre bonyolultabb integrált áramkörök valósíthatóak meg egyre kisebb méretben. A méretek csökkenésével pedig újabb és újabb problémák merülnek fel, amelyek az integrált áramkörök működését befolyásolják. Dolgozatomban bemutatom ezeket a problémákat, valamint áttekintést nyújtok az általuk okozott hibajelenségek detektálásának és mérésének módjáról, egy, a Berkeley Egyetemen erre a célra gyártott technológiai tesz IC segítségével. Bemutatom az IC-n található mérőstruktúrákat, szót ejtek ezek használatának módjáról, valamint az általuk lefedett hibalehetőségekről. Ezen kívül tárgyalom a MOS integrált áramkörök gondatlan használatból adódó instabilitási forrásait, meghibásodási lehetőségeit, valamint az ezek bekövetkezésének elkerülésére kínálkozó védelmi lehetőségeket.

Dolgozatom második felében egy demonstrációs eszköz tervezését és megépítését mutatom be, amely segítségével a témával foglalkozó villamosmérnök-hallgatók biztonságos körülmények között végezhetnek vizsgálatokat az adott technológia és gyártósor minősítésére vonatkozólag. Bemutatom a használandó mérőstruktúrák célszerű kiválasztását és összefoglalom a félév során végzett fontosabb mérések eredményeit. Elkészítettem az általam fejlesztett eszköz felhasználói dokumentációját, valamint egy lehetséges mérési összeállítást is.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.