Egykristályos szilícium alapanyag felületi megmunkálása nedves kémiai eljárásokkal

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Földváry-Bándy Eniko
Elektronikus Eszközök Tanszéke

Diplomamunkám során n-típusú <100> egykristályos szilícium alapanyag felületi megmunkálásával foglalkoztam nedves kémiai eljárással. Feladatom volt, a napelemgyártás lépéseibe való betekintés, egykristályos szilícium alapanyagokon keletkező fűrészelési sérülések hatásaival valamint a fűrészelési károsodások eltávolításával foglalkozó szakirodalom áttekintése.

A napjainkban használt egykristályos tömb szeletelési technológiák a felületen létrejövő hibák és mikrorepedések miatt kedvezőtlen kiinduló felületet biztosítanak a napelemgyártás további lépéseihez. A felületen a szeletelés során képződő sérülések ezenkívül rekombinációs centrumokat hoznak létre, így csökkentik a generálódó töltéshordozók élettartamát és végül a kész napelem hatásfokát is.

Az egykristályos alapanyagú napelemek hatásfokát nagyrészt befolyásolja a szelet felületi struktúrája és az optikai tulajdonságai is, ezért a fűrészelés során keletkező felületi sérülések eltávolítása és a napelemgyártás további lépéseinek illesztése a kiinduló felülethez kiemelkedően fontos lehet.

Kísérleteim során elsődlegesen a nyers (as-cut) egykristályos szilícium szeleten lévő fűrészelési károsodások eltávolítására szolgáló technológia kifejlesztése, a létrejövő felületi struktúra kisebbségi töltéshordozók élettartamára gyakorolt hatásának vizsgálata, a felület morfológiai vizsgálata volt a cél. Továbbá, kísérleti úton meghatároztam a különböző paraméterek mellet keletkezett felületek felületstrukturálási eljáráshoz való illeszthetőségét is. Minden marási kísérletet tetrametilammonium-hidroxid alapú fémionmentes marószerrel végeztem. A szakirodalomban több utalás található a fémionmentes marószerek előnyeiről és figyelembe véve, hogy, a BME Elektronikus Eszközök Tanszékének tisztatérében zajlott a munkám, fontos volt a környezetszennyezésének elkerülése is.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.