Elektronsugaras mikroanalízis (SEM-EPMA) alkalmazása rétegvastagság-mérésre

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Gordon Péter Róbert
Elektronikai Technológia Tanszék

Kivonat

Diplomamunkámban a nyomtatott huzalozású lemezgyártásban alkalmazott leggyakoribb szelektív bevonatokkal, az immerziós ón- és ezüstbevonatok vastagságmérésével foglalkoztam. Az irodalomkutatás során az immerziós bevonatok vastagságmérésének széles választékával megismerkedtem, s elvégeztem az Elektronikai Technológia Tanszéken és az Atomfizika Tanszéken megvalósítható méréseket, valamint az iparban elterjedten alkalmazott méréseket a Hitelap Zrt-nél. Ezek a következők voltak: EPMA vizsgálat során mért relatív röntgenintenzitásokból (k-arányokból) történő vastagságbecslés, tömegmérésen alapuló vastagságbecslés, elektrokémiai vizsgálatok (leoldás), keresztcsiszolatok SEM-es és AFM-es vizsgálatai az Elektronikai Technológia Tanszéken, XPS és AES mérések ionsugaras rétegporlasztás során az Atomfizika Tanszéken, valamint vastagságmérésre kalibrált XRF vizsgálatok és kételektródás leoldás a Hitelap Zrt-nél.

Elvégeztem a pásztázó elektronmikroszkópos vizsgálatokat, az ehhez szükséges paramétereket technológiai és fizikai jellemzők figyelembe vételével állítottam be (pl. a gyorsítófeszültséget az információs térfogat optimalizálása céljából ezüst esetén 15 kV-ra, míg ón esetén 30 kV-ra állítottam).

Megalapoztam a tanszéki nyomtatott huzalozású lemezeket gyártó laboratórium immerziós ezüstöző során átment panelek minősítési lehetőségeit. Eddig ugyanis semmilyen módon nem tudtunk vastagságot mérni az elkészített bevonaton, míg munkám eredményeként most már három módszerből is választhatunk, ami mind elvégezhető a tanszéken: leoldásos mérés, tömegmérésből származó becslés és az EPMA vizsgálatból GMRfilmmel történő becslés, amellyel egyébként tetszőleges rétegszerkezet vastagsága is becsülhető. Ennek segítségével jobban figyelemmel kísérhető az egyes műveleteknek (pl. valamelyik elektrolit feljavításának) a bevonat vastagságára gyakorolt hatása. Ezen kívül kiderítettem, hogy milyen összefüggés van az ezüstöző elektrolitban töltött idő és a kialakuló bevonatvastagság között nagy területű lemezek esetén.

Munkám egyik mellékeredménye pedig, hogy az immerziós ón- és ezüstbevonatok leoldásához szükséges elektrolitok receptjének felkutatásával hozzájárultam ahhoz, hogy a réz-ón, illetve a réz-ezüst intermetallikus rétegek topográfiája, illetve mennyisége is vizsgálható legyen a szelektív elektrokémiai leoldás felhasználásával. Ezek a kutatások már beindultak a tanszéken és jelentős eredményekkel kecsegtetnek.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.