Elektronsugaras mikroanalízis és röntgenfluoreszcens spektroszkópia reprodukálhatóságának vizsgálata

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Gordon Péter Róbert
Elektronikai Technológia Tanszék

Napjainkban sok módszer van a nyomtatott áramköri alkatrészek vizsgálatára. Az egyik legmeghatározóbb eszköze a kis mérettartományi analíziseknek a pásztázó elektronmikroszkópia (SEM). Feladatom volt a SEM és a röntgenfluoreszcens spektroszkópia elméleti hátterének, fizikai alapjainak tanulmányozása, és összevetése. Továbbá megpróbáltam összecsoportosítani a két berendezés analízisbeli hasonlóságait, és különbségeit. A két berendezés alkalmazási területeinek bemutatása. Két – két pásztázó elektronmikroszkóp (Zeiss EVO MA 10 – FEI Inspect S 50) és röntgenfluoreszcens spektroszkóp (Fischer XDV – SD – SpectroMidex M) technikai jellemzőinek összehasonlítása, melyből kiderül mennyire azonos a fizikai felépítése a gépeknek.

Pásztázó elektronmikroszkóp kezelésének elsajátítását megtanultam, mivel a félév során méréseket kellett végrehajtanom a berendezésen. Elemösszetétel – analízis végrehajtása két pásztázó elektronmikroszkóppal. Mért eredmények értelmezése, rendszerezése. Kísérletsorozat tervezése. Hipotézisvizsgálat felállítása, az azonos IC lábakon végzett mérésekre. Eredmények kiértékelése statisztikai programmal, átlagok analízise középérték várható értékére 95 %-os konfidencia intervallumban. Kiugró értékek okának feltárása, azok kiemelése a mintahalmazból. Kétmintás t – próba segítségével a két gép közötti különbségek megállapítása. Mérés reprodukálhatóság, gyakorlati pontosság meghatározása.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.