Ellipszometriában használható, optikai fényút adaptív beállítását megvalósító modul kifejlesztése

OData támogatás
Konzulens:
Kökényesi Tamás
Automatizálási és Alkalmazott Informatikai Tanszék

Diplomamunkám a félvezetőtechnológiában gyakran használt, anyagvizsgálatra alkalmas ellipszometriához kapcsolódik. A mérési módszer segítségével vékonyrétegek vastagságát és optikai tulajdonságait lehet mérni. Lényege, hogy a polarizált fénnyel megvilágított vékonyréteg által reflektált fénynyaláb polarizációs állapotának változása és a vizsgált minta bizonyos jellemzői között kapcsolat van.

A mérendő minta helyzetét aktív, illetve passzív eszközökkel lehet beállítani. Passzív esetben a felhasználó igazítja a mintatartót úgy, hogy a mintáról visszaverődő fény intenzitása a detektorba érkezve közel maximális, illetve szimmetria-hibája minimális legyen. Aktív beállítórendszer esetén erről egy modul gondoskodik emberi beavatkozás nélkül. Az iparban eladható termék értékét növeli, ha a minták beállítása automatikusan megtörténik.

Diplomatervezési feladatom során egy adaptív rendszer kellett megterveznem, mely a minta helyzetét a mérendő jel alapján optimalizálja. Főbb feladataim voltak: a tálca mozgatására alkalmas aktuátorok kiválasztása, az aktuátorok vezérlőelektronikájának megtervezése, egy szoftver megírása, mely PC és vezérlőelektronika között teremt kapcsolatot, valamint a szabályozás koncepciójának kidolgozása.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.