Félvezető eszközök hűtése aniztróp marással kialakított mikrocsatornákkal

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Plesz Balázs
Elektronikus Eszközök Tanszéke

A szakdolgozatom célja egy olyan szilíciumra integrált mikrohűtő létrehozása volt, ahol a hűtő csatornáit anizotróp marással alakítom ki, TMAH felhasználásával. A chipek másik oldalán pedig p-n átmenetet alakítottam ki, amit diódának használva a termikus tranziens mérés során a termikus gerjesztést és hűtést egy chipen tudjuk megvalósítani. A csatornák lezárását wafer bonding technológiával végeztem, ellendarabnak egy közepén kilyukasztott üveget felhasználva. Az eszköz elkészítéséhez a technológia lépéseit és a felhasznált maszkokat kellet megterveznem és az esetleges felmerülő méréseket kellett elvégeznem.

A félév során minősítettük a szeletek hátoldalán megvalósított diffúziót. A termikus tranziens mérés módszerével megmértük a korábban elkészített integrált mikrohűtők termikus tulajdonságait és összehasonlítottuk a mérési eredményeket a korábban vizsgált mikrohűtő eszközzel.

Az eszköz elkészítése mellet meg kellet terveznem a későbbi mérések során használt mérési elrendezést és mérőbefogót. A befogó gázbevezetésénél dupla O-gyűrűt használunk a jobb lezárás érdekében.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.