Mechanikus profilométer mérőjelének digitalizálása és számítógépes megjelenítése

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Plesz Balázs
Elektronikus Eszközök Tanszéke

Szakdolgozatom célkitűzése a Talystep felületprofilozó mérőberendezés rekorder egységének kiváltása egy olyan saját fejlesztésű mérőprogrammal, amely képes annak funkcióját ellátni, a mérés eredményeit rögzíteni és kiértékelni. Ez egy, a BME EET tisztaterében elhelyezett merőeszköz, amelyet ma is aktívan használnak különböző rétegek vastagságának, felületprofiljának mérésére. Annak ellenére, hogy a berendezés az 1960-as évekbeli technológiával készült, ma is pontos méréseket végeznek vele a félvezető technológiában.

A műszerrel való mérés megkönnyítése érdekében fontos lenne a kiértékelés segítése azzal, hogy digitális formában jussunk hozzá a mérési eredményekhez. Fontos szempont, hogy a berendezés rekorder egységének működése alapvetően nem kompatibilis a tisztatérrel, mivel egy papírszalagra égeti az aktuálisan vizsgált felületi profilgörbét, ezzel szennyezve annak levegőjét. Ez fontos, mivel a mikroelektronikai eszközök gyártási folyamatának egyik alapja, hogy a környezet nagytisztaságú legyen és ennek biztosítására nagy erőfeszítéseket tesznek.

Szakdolgozatom első részében bemutatom a tisztateret, mint a mikroelektronikai gyártási folyamatok helyszínét és leírom a Talystep felületprofilozó gép főbb tulajdonságait, alapvető működését valamint felhasználását. A fejezet végén a feladat megoldásához szükséges LabVIEW környezetet is bemutatom, ami természetes választás egy ilyen feladathoz, ugyanis ilyen problémák megoldására fejlesztették ki.

A következő részében végigvezetem az olvasót a vezérlőprogramom elkészítési lépésein. Ismertetem a programom működését, kalibrációjának folyamatát valamint a korábbi méréseket összehasonlítom az elkészített programmal készített eredményekkel.

Az utolsó fejezetben továbbfejlesztési lehetőségeket mutatok be, amelyek egy későbbi munka alapjává válhatnak.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.