Mikrofluidikai csatornák kialakítása negatív fotorezisztből

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Juhász László
Elektronikus Eszközök Tanszéke

A mikrofluidika folyadékok mikro- és nanoméretű folyadékmanipulációjával foglalkozó szakterület, amely jelentős szerepet tölt be különböző mérnöki és biológiai eszközök fejlesztésében, növelve a mobilitást és költséghatékonyságot. Az itt használt különböző anyagok, esetemben az SU-8 negatív működésű fotoreziszt, technológiájának beállítása egy adott laboratóriumban összetett folyamat, a folyamatparamétereinek meghatározása hosszú kísérletsorozat eredménye. Munkám célja, a mikrofluidikában használt anyagokról, eszközökről, megvalósítási formákról szóló ismeretanyag rendszerezése és az SU-8 2100-as fotoreziszt ezen felhasználási paramétereinek meghatározása a Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke által üzemeltetett tisztatéri laboratóriumban történő alkalmazáshoz. A kísérletek során beállított technológiai folyamattal elkészítettem a tanszéken korábban kidolgozott, majd általam egy adott program segítségével (CleWin) megrajzolt áramlásmérős visszacsatolással rendelkező hidrodinamikai fókuszáló eszköz csatornáit.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.