Mikrorendszerek multidomén modellezése és karakterizációja

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Szabó Péter Gábor
Elektronikus Eszközök Tanszéke

A diplomatervezés során termoelektromos elven működő terahertzes (THz) frekvenciájú elektromágneses hullám érzékelésére alkalmas mikroszenzor egy fűtőellenállással rendelkező termikus tesztstruktúráját vizsgáltam, amelyet a Magyar Tudományos Akadémia Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézetében készítettek. A diplomamunka tartalmaz termoelektromos végeselemes szimulációkat az eszköz állandósult állapotbeli és tranziens működésének jellemzésére. A háromdimenziós geometria létrehozásának segítésére C programot írtam, ami a fotolitográfia maszkjait leíró layout-ból futtatható kódokat készít a modellező szoftver számára. Mindezek mellett analitikus közelítő számításokat végeztem a hővezetési egyenlet kétdimenziós megoldására, melyek a szenzor vákuumbeli működése esetén jó egyezést mutatnak a szimulációkkal. Végezetül az eszköz karakterizálásával foglalkoztam, melynek során meghatároztam az eszköz állandósult állapotbeli és időfüggő válaszát. A műszerek automatizált vezérlésére grafikus felhasználói felületű programokat készítettem LabVIEW környezetben.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.