Nanoporózus alumínium-oxid antireflexiós rétegek előállítása és vizsgálata

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Juhász László
Elektronikus Eszközök Tanszéke

A szakdolgozat során egykristályos szilícium napelemeket készítettünk, melyek antireflexiós (AR) bevonatának vékony (~70 nm) nanoporózus alumínium-oxid réteget alakítottunk ki anodikus oxidációval. A napelemek előállítása előtt tiszta szilícium szeleteken alakítottunk ki porózus alumínium-oxid rétegeket, melyek tapasztalatai alapján határoztuk meg a készítendő struktúrákat. A szakdolgozat tartalmazza a tervezett struktúrák vékonyréteg-optikai szimulációját, továbbá az előállítás technológiai lépéssorát. Az új típusú AR bevonatú napelemek mellett egy referencia napelemet is készítettünk, melyen az antireflexiós bevonat egy termikus oxidációval növesztett 100 nm vastag szilícium-dioxid réteg volt. A kész szeleteken elektromos karakterisztika és spektrális érzékenység méréseket végeztünk. Mértük továbbá a reflexiós együttható értékét, ami eltért a várttól. Valószínűleg ennek köszönhető, hogy az új típusú bevonattal rendelkező napelemek hatásfoka kisebb volt a referencia napeleméhez képest. A tanulmány végén a továbbfejlesztési lehetőségeket vizsgáltam.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.