Nemkonvencionális fotolitográfia plazmonikus nanoszerkezetekkel

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Szabó Zsolt
Szélessávú Hírközlés és Villamosságtan Tanszék

Az anyagok fénnyel való kölcsönhatása nagymértékben függ a kémiai összetételtől, azonban az anyag strukturáltsága még a kémiai összetételnél is jobban befolyásolhatja a fény viselkedését. Megfelelő nanostrukturálással kialakíthatók olyan fémes nanoszerkezetek, nanoantennák, amelyek képesek a fényt a hullámhossznál sokkal kisebb térrészbe fókuszálni. Ezek a nanoantennák alkalmazhatók a konvencionális fotolitográfia diffrakciós határát meghaladó, hullámhossznál kisebb struktúrák megvalósítására, amelyekkel például nagyérzékenységű hidrogén szenzorok vagy nagy kapacitású adattároló elemek építhetők.

A Diplomaterv célkitűzése háromszög alakú nanoantennákal megvalósítható nemkonvencionális fotolitográfiai elrendezés tervezése. A nanoantennákat önszerveződéssel létrehozott szigetelő gömb maszkon keresztül történő fémleválasztással, majd a gömbök eltávolításával lehet létrehozni. Az 1. Ábrán bemutatott nanoantennák a háromszögek csúcsi alatti térrészbe fokuszálják a fényt, és exponálják a fotorezisztet, amelyben előhívás után nagyon nagy felületen elhelyezkedő hexagonális lyuk vagy oszlopstruktúra keletkezik.

A hallgató feladatának a következőkre kell kiterjednie:

- A szakirodalomban ismert, nemkonvencionális litográfiára alkalmazott elrendezések áttekintése.

- Végezzen numerikus szimulációkat a nanoantennák által a fotorezisztben létrehozott elektromágneses intenzitás eloszlás kiszámítására.

- Vizsgálja meg a hagyományos elektron és fotolitográfiában használatos kioldási modellek alkalmazhatóságát nemkonvencionális litográfia esetén.

- Készítsen algoritmust a rezisztben előhívás után kialakuló mintázat számítására.

- Optimalizálja a nemkonvencionális litográfiai elrendezés és a kioldási folyamat paramétereit, úgy hogy adott megvilágítási hullámhosszon legkisebb rácsállandójú struktúrát lehessen megvalósítani.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.