Pásztázó akusztikus mikroszkóp feloldóképességének vizsgálata

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Gordon Péter Róbert
Elektronikai Technológia Tanszék

Szakdolgozatomban különböző minták létrehozására tettem kísérletet, melyek struktúrája olyan mérettartományban helyezkedik el, mellyel meghatározható lehet a tanszéken található pásztázó akusztikus mikroszkóp feloldóképessége.

Kiválasztottam a minták méretének validálásához alkalmas mérési módszereket, melyekkel a minták struktúrájának mérete kellő pontossággal meghatározható, és összevethető a róluk készült pásztázó akusztikus mikroszkópi felvételek eredményeivel. Két minta elrendezés létrehozását és vizsgálatát végeztem el a félév során.

Az első elrendezés mintájának vizsgálatával olyan jelenség volt megfigyelhető, mely során az akusztikusimpedancia-határon jelen lévő, 80-800 nm közötti vastagságú fém vékonyréteg hatást gyakorol a reflektált hullámok amplitúdójára. Azonban a minta segítségével nem lehetett egyértelműen eldönteni, hogy az azonos hullámimpedanciájú anyagokkal határolt, fentebb említett vastagságtartományba eső rétegen létrejön-e detektálható reflexió.

A második mintaelrendezéssel megfigyeltem különböző fémek határán lévő repedések esetére egy olyan vastagságtartományt (400-600 nm), amely nem hozott létre fázisfordítást a reflektált hullámban a mérések folyamán.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.