Pásztázó akusztikus mikroszkóp alkalmazása rétegvastagság-mérésre és töretfelületek topográfiájának vizsgálatára

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Gordon Péter Róbert
Elektronikai Technológia Tanszék

Az akusztikus mikroszkóp roncsolásmentes vizsgálatot tesz lehetővé, segítségével felderíthetők a belső hibák, például delaminációk, repedések, zárványok. Feladatom volt megismerni az akusztikus mikroszkópia elméleti alapjait, az akusztikus mikroszkóp működését. Megtanultam kezelni a tanszéki akusztikus mikroszkópot, kitapasztaltam, hogy milyen beállításokkal készíthetek jó minőségű képet az adott mintáról. A legelterjedtebb vizsgálati móddal, a C-módú szkenneléssel kapott képek minőségét befolyásoló paraméterek hatását az általam készített képekkel szemléltettem.

Az akusztikus mikroszkóppal időmérésen alapuló vastagságmérést végezhetünk. Dolgozatomban én az ultrahang impulzus hossza miatti minimális határokat kutattam az általam választott minták segítségével. Méréseimből kiderült, hogy rétegvastagság mérésre csak korlátozva alkalmazható az akusztikus mikroszkóp, a hang adott anyagbeli hullámhosszának megfelelő értéknél négy-ötször vastagabb minta esetén a mérési pontosság már kielégítő. A vizsgált vastagság csökkenésével a relatív hiba nő. Az acélból készült mintákon elvégzett méréseim alapján javaslatot tettem a vastagságméréshez alkalmazandó vizsgálófrekvencia értékére.

Ezután teljesítményelektronikai alkatrészek die attach rétegében kialakult töréseket vizsgáltam. A forrasz rétegről akusztikus mikroszkóppal készített szürkeárnyalatos képet Matlabbal feldolgozva háromdimenziós képet kaptam a töret felületéről. Az eredményeket keresztmetszeti csiszolatokon végzett optikai mikroszkópos mérésekkel vetettem össze. A keresztmetszeti csiszolatokon végzett optikai mikroszkópos mérések igazolták az akusztikus mikroszkópos eredményeimet. A die attach rétegekről készült akusztikus mikroszkópos képek Matlabos feldolgozásának összeegyeztetése a keresztmetszeti csiszolatok méréseivel olyan megoldást eredményezett, amivel viszonylag jól meghatározható a forraszrétegben található törés pozíciója.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.