Si szeletek MOS technológia során történő minősítésére szolgáló mérőrendszer fejlesztése

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Plesz Balázs
Elektronikus Eszközök Tanszéke

Feladatom a Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Intézetben található MOS gyártósor minősítésére szolgáló C-V mérőállomás rekonstrukciója és automatizálása volt. Továbbá egy kiértékelő program elkészítése, mely képes a C-V mérés által meghatározható paraméterek kiszámítására és a mért görbék megjelenítésére.

Első lépésben megismerkedtem a C-V mérés elméleti hátterével, a méréssel meghatározható jellemzőkkel és ezek számítási módjával, illetve a mérésekhez használt MOS kapacitások felépítésével és működésével. Ezen ismereteket foglalja össze a dolgozatom második fejezete. Ezt követően bemutatom a mérőállomás felépítését és a használt műszerek feladatát.

A következő részfeladathoz elmélyítettem LabVIEW programozási ismereteimet és konzulensem segítségével egy, a mérőműszerek vezérlésére alkalmas programot fejlesztettem. A program felépítését és működését, valamint a mérés menetét a dolgozatomban ismertetem. Végül pedig részletesen bemutatom a mért adatok kiértékelésére és ábrázolására szolgáló MATLAB kódot.

Az utolsó fejezetben az új mérőállomás tesztméréseinek eredményeit és a lehetséges jövőbeli fejlesztéseket közlöm.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.