Szelektív anodizálással készített titán-dioxid antireflexiós bevonatok napelemek számára

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Plesz Balázs
Elektronikus Eszközök Tanszéke

A diplomamunkám során a feladatom szelektív adodizációs eljárás kidolgozása volt, napelemeken alkalmazható antireflexiós bevonatok létrehozására TiO2-ból. Ez magába foglalta a Ti anodizálásának, illetve a szelektív marási eljárások tanulmányozását, kísérletek elvégzését a témában és minősítési technikák meghatározását.

A kezdeti kísérleteket katódporlasztott Ti rétegeken folytattam. Ezek eredménye alapján kialakítottam egy befogó elrendezést az anodizálási kísérletekhez. Az új befogó segítségével sikeresen oxidáltam a porlasztott rétegeket, mindenközben megfigyelve és finomítva az anodizációs eljárás paramétereit.

A további kísérleteket vákuumgőzölt Ti, majd Ti+Cu szendvicsszerkezeteken folytattam. Kialakítottam egy szelektív marási eljárást, fotoreziszt maszkolás mellett. A gőzölt rétegek anodizálása során megfigyeltem a porlasztott rétegekhez képesti különbségeket a folyamatban.

A szelektíven anodizált szendvicsstruktúrán réz galvanizálási kísérletet végeztem, hogy minősíthessem a kísérleti struktúra alkalmasságát a napelemes technológiában való alkalmazásra.

Az oxidált rétegek vizsgálatát optikai mikroszkóppal, C-V méréssel, illetve ellipszometriával végeztem.

A munkám során sikerült kidolgozni egy eljárást, amit későbbi fejlesztésekkel akár tényleges napelemeken is lehet alkalmazni.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.