TELC-eszközök gyártástechnológiájának fejlesztése

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Juhász László
Elektronikus Eszközök Tanszéke

Összefoglaló

Napjainkban a logikai hálózatok fejlesztése során egyre fontosabbá válik a méretcsökkenés kérdése, amely viszont fizikai okok miatt egyre nehezebben folytatható. Új irányvonalat adhat az a gondolat, hogy a hálózat elemei olyan anyagból készüljenek, amelyek hőmérsékletnövelés hatására drasztikus ellenállás csökkenéssel reagálnak, és a saját magukon fejlődő hő segítségével bekapcsolva maradnak. Ilyen anyag a Vanádium-dioxid, amely felhasználásával termikus-elektromos elven működő logikai áramkört (TELC-eszközt) tudunk készíteni.

Munkám célja bemutatni a TELC-eszközök működésének alapjait és elvét, a vizsgálatukra javasolt rétegszerkezetek felépítését, továbbá ismertetni a nedveskémiai és Lift-off eljárások lehetőségeit.

Előzményként kitekintek a múlt félévben - az Önálló laboratórium tantárgy keretében - elvégzett feladatokra és eredményeire.

A logikai áramkör megvalósításához különböző méretű tesztstruktúrákat terveztem egy adott program (CleWin4) segítségével, szem előtt tartva a méretcsökkenési korlátokat. Ezt követően a Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Elektronikus Eszközök Tanszéke laboratóriumában részt vettem TELC-stuktúrák tervezésében, a szerkezetek megvalósításában és a paraméterek beállításában. Méréseket végeztem a kész mintákon, illetve értékeltem azokat.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.