Teszt chip tervezése félvezető technológiai folymatok vizsgálatához

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Plesz Balázs
Elektronikus Eszközök Tanszéke

A felvezető VLSI áramköri technológiában ipari körülmények között kritikus feladat a minél nagyobb kihozatal elérése. Szükségessé válik tehát a technológiai folyamatok ellenőrzése és az elkészült felvezető eszközök elektromos tulajdonságainak vizsgálata. Erre a célra szokásos úgynevezett tesztábrákat, tesztchipet alkalmazni. A technológia fejlődése esetén az új tervezési szabályok, a technológiai és eszközparaméterek meghatározása és optimalizálása is ezekkel a tesztábrákkal történik. Azonban a kisebb, kutató-fejlesztő munkát végző, vagy oktatási célt szolgáló kutatólaboratóriumokban sem elhanyagolható szempont a gyártás során alkalmazott technológia pontos paramétereinek és korlátainak ismerete.

Dolgozatom célja a félvezető integrált áramköri technológiában használatos folyamat-ellenőrző és minősítő struktúrák rendszerezése és a BME Elektronikus Eszközök Tanszékén, a témában korábban elért kutatási eredmények összefoglalása. Ezek alapján megterveztem és az adott maszkkészítési technológiával elkészítettem a tanszék tiszta-téri laboratóriumában végrehajtható technológiai folyamatok teljes minősítésére szolgáló tesztchip layout tervrajzát. Ennek alapján legyártásra kerülhet egy jó minőségű króm maszk készlet, melyekkel a későbbiekben elkészíthető – a maszkok felhasználásához szükséges technológiai lépéssort tartalmazó dokumentáció alapján – a laboratórium minősítésére alkalmas tesztchip.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.