Vanádium-dioxid rétegek készítése és minősítése

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Mizsei János
Elektronikus Eszközök Tanszéke

Szakdolgozatom tárgya a vanádium-dioxid anyag fázisátalakulásának tanulmányozása, VO2 vékonyrétegek elkészítése és azok minősítése, majd aktív eszközön való mérések elvégzése.

Feladatom során irodalomkutatást végeztem az anyaggal kapcsolatban, megismertem a MIT effekt jelenségét. Összefoglaltam az anyag felhasználhatóságának lehetőségeit, különös tekintettel a TELC-re. Tanulmányoztam a termikus elektromos elven működő logikai kapuk alapjait.

Megismertem a katódporlasztásos rétegleválasztó technológiát, majd ezzel a módszerrel vanádium-dioxid vékonyrétegeket hoztam létre. Megpróbáltam megtalálni a legideálisabb módszert a legjobb minőségű vanádium-dioxid rétegek létrehozásához. A vékonyrétegek minőségét megvizsgáltam az ellenállás – hőmérséklet függésük alapján.

Az eredmények alapján kiválasztottam a legjobb minőségű szeletet, majd platina kontaktusokat létrehozva, aktív eszközként vizsgáltam.

Dolgozatom legvégén összefoglaltam eredményeimet, és javaslatot tettem az aktív eszköz fejlesztésére.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.