Vanádium-dioxid vékonyrétegek alkalmazhatóságának vizsgálata gázérzékelési célokra

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Juhász László
Elektronikus Eszközök Tanszéke

Az ipar folyamatos fejlődésével a gázérzékelők használata egyre fontosabbá válik, hiszen számos esetben alakul ki valamilyen éghető, mérgező gáz a gyártás melléktermékeként. Ezen kívül, alapvető fontosságú különböző gázok detektálása, például biztonsági berendezések esetén, hiszen emberéletek függhetnek a megfelelő működésüktől.

Dolgozatomban a különböző gázérzékelő struktúrák működését tárgyalom, különös tekintettel a fém-oxid alapú gázérzékelőkre, és bemutatom a vanádium-dioxid fém-félvezető fázisátalakulásának mechanizmusát. Munkám során lézerablációval, illetve reaktív katódporlasztással készített vanádium-dioxid vékonyrétegek viselkedését vizsgálom különféle gázösszetételű környezetben, a fém-félvezető átmenethez tartozó hőmérséklet közelében, valamint 150-200°C közötti hőmérséklet-tartományban, továbbá meghatározom az áram-feszültség, teljesítmény-hőmérséklet és ellenállás-hőmérséklet karakterisztikáikat. A vizsgálatokat elvégzem palládiummal aktivált, illetve aktiválás nélküli mintákon is, és levonom a szükséges következtetéseket, illetve továbbfejlesztési lehetőségeket kínálok.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.