Vanádium-dioxid vékonyrétegek fázisátmenetének vizsgálata C-V módszerekkel

OData támogatás
Konzulens:
Dr. Juhász László
Elektronikus Eszközök Tanszéke

A szakdolgozatom témája a vanádium-dioxid vékonyréteg fém-félvezető fázisátmenetének vizsgálata. Ez a fázisátmenet lehetővé teszi termikus-elektromos logikai áramkörök (TELC - Thermal-Electronic Logic Circuits) készítését. Ennek az a jelentősége, hogy a szilícium alapú integrált áramkörök komplexitását tovább lehet növelni ugyanakkora felületen TELC alkalmazásával, a CMOS technológia további méretcsökkentése helyett. A méretcsökkentés a mai CMOS technológiában pedig kezd egyre nehezebbé válni, mert a technológiának fizikai határai vannak, amiket lassan elérnek. A szakdolgozatom célja az volt, hogy kiderítsem milyen különbségek figyelhetők meg a C-V (kapacitás-feszültség) görbéken a hőmérséklet változásával, illetve a vanádium-dioxid fázisátmenete milyen hatással van ezekre. A szakdolgozatomban először bemutattam a C-V mérési technikákat, majd részletesebben foglalkoztam a hagyományos C-V mérési eljárással, és leírtam, hogy milyen módszert használtam a C-V mérési eredményeim kiértékeléséhez. Összefoglaltam a vanádium-dioxid legfontosabb tulajdonságait, majd bemutattam a mintáim előállításának folyamatát, amiket a méréseimhez használtam. Ezután beszámoltam a méréseimről, kiértékeltem és összehasonlítottam ezeket. Bemutattam, hogy a hőmérséklet növelésének hatására a C-V görbék a feszültség tengely mentén negatív irányba tolódnak, a flat-band feszültség pedig lecsökken. Megállapítottam, hogy a vanádium-dioxidnak is hatása van ezekre a változásokra. A mérések alapán meghatároztam, hogy a vanádium-dioxid kilépési munkája melegítés hatására megnő, de ebben a fázisátmenet hatása nem kimutatható; az eredmények összhangban vannak a rezgőelektródás felületi potenciál mérésből kapott adatokkal.

Letölthető fájlok

A témához tartozó fájlokat csak bejelentkezett felhasználók tölthetik le.